特許

J-GLOBAL ID：200903025486767853

共振子

発明者： 厚地 健一 ,  田中 克彦 ,  持田 洋一 ,  森屋 和文 ,  長谷川 友保
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331159
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115527
出願日： 1993年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 機械加工技術等によるトリミング加工を必要とせず、検出感度が良好で、かつ、極めて小型の共振子を提供する。【解決手段】シリコンのマイクロマシニング技術を利用してシリコン基板1に両端固定の重り部2と梁3からなる振動体10を形成する。この振動体10に静電引力15を付与する静電印加手段としての導電層12を、振動体に隙間を介して対向配設する。この静電引力15を調整することで、振動体10の共振周波数を調整する。

請求項（抜粋）：

基板に浮いた状態に配置された重り部およびこの重り部を両側から支持する梁とを備えた振動体と、この振動体をその長さ方向に対して直交する方向に振動する励振器と、前記振動体に間隔を介して対向配設されるとともに、この振動体に静電引力を付与して振動体の共振周波数を調整する静電印加手段とを備えた共振子。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/02

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/02 M