特許

J-GLOBAL ID：200903025488411770

クリーンエア装置

発明者： 棚橋 隆司 ,  守谷 修司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196076
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084737
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 装置内部を陽圧にすることによってクリーンルームから装置内へ塵等が侵入することを抑制する。【構成】 空気流入口2より取り入れられた空気を送風ファン4により装置内部へ送風し、排気ファン24により装置外へ排出させる。排出量よりも導入量を大きくすることにより、キャリア搬入出部10を陽圧にする。また、密閉用壁33を配設し、姿勢変換機構15を用いて搬入搬出時のみキャリア搬入出部を密閉し、クリーンルームから装置内部への塵の侵入を抑制する。

請求項（抜粋）：

クリーンエアが供給された装置のキャリア搬入出部より板状体が収納されたキャリアを搬入搬出するクリーンエア装置において、上記キャリア搬入出部の圧力を外気圧より陽圧にする手段が設けられていることを特徴とするクリーンエア装置。