光波長計

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261745
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101073
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】高確度であり、かつ回路規模の小さい光波長計の提供を目的とする。【構成】基準光源1、ビームスプリッタ2、固定鏡3、移動鏡4、基準光の垂直方向偏波の位相をλ/8だけ遅らせるλ/8位相差板5、基準となる干渉縞を水平方向偏波と垂直方向偏波とに分離する偏光ビームスプリッタ7、受光器8、9、10、受光器8、9、10からのアナログ信号をパルス信号に変換するコンパレート部11、12、13、コンパレート部11、12からの信号の位相を反転するインバータ14、15、コンパレート部12、13からの信号の波形数を計数するカウント部16、17、コンパレータ11、12とインバータ14、15から出力される信号の位相からカウント部16、17が波形数を計数する直前と計数終了直前の干渉縞を4分割し検出する分割部18、演算部19、並びに表示部20を備える。

請求項（抜粋）：

基準光源(1) からの基準光と被測定光を分岐するビームスプリッタ(2) と、前記ビームスプリッタ(2) により反射された基準光と被測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する固定鏡(3) と、前記ビームスプリッタ(2) を通過した基準光と被測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する移動鏡(4) と、前記ビームスプリッタ(2) と前記固定鏡(3) の間に配置され基準光の垂直偏波成分の位相をλ/8だけ遅らせるλ/8位相差板(5) と、前記移動鏡(4) を光軸方向に移動させる線形移動機構(6) と、前記ビームスピリッタ(2) において基準光が干渉する際に生じる干渉縞を水平方向偏波とこの水平方向偏波とは位相が90 ゚異なる垂直方向偏波とに分離する偏光ビームスプリッタ(7) と、前記干渉縞の水平方向偏波を光電変換する第1の受光器(8) と、前記干渉縞の垂直方向偏波を光電変換する第2の受光器(9) と、被測定光が干渉する際に生じる干渉縞を光電変換する第3の受光器(10)と、前記第1〜第3の受光器(8,9,10)からのアナログ信号をそれぞれパルス信号に変換する第1〜第3のコンパレート部(11,12,13)と、前記第1、第2のコンパレート部(11,12) から出力されるパルス信号の位相を180 ゚反転する第1、第2のインバータ(14,15) と、前記第2、第3のコンパレート部(12,13) から出力されるパルス信号の波形数を計数する第1、第2のカウント部(16,17) と、前記第1、第2のコンパレート部(11,12) と前記第1、第2のインバータ(14,15) から出力されるパルス信号の位相から、前記第1、第2のカウント部(16,17) が波形数を計数する直前と計数終了直前の干渉縞を4分割し検出する分割部(18)と、前記第1のカウント部(16)からの波形数、前記第2のカウント部(17)からの波形数、並びに前記分割部(18)からの検出信号から測定光源の波長を計算する演算部(19)とを有してなることを特徴とする光波長計。

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