特許

J-GLOBAL ID：200903025503390041

研磨工具

発明者： 安井 健吾 ,  斎藤 慎一郎 ,  樋口 貴広
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141452
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323249
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 非球面量の大きな形状の被加工物に対しても、工具径を小径にすることなく、加工面に存在するうねりを効率よく研磨除去することができる研磨工具を提供する。【解決手段】 ツール4表面に、多数の小径弾性ポリシャ3を均一に分散させて貼り付ける。これら小径弾性ポリシャ3は、被加工物の加工面に存在するうねりの周期の2倍以上の所定の大きさに切った円板状の弾性部材1上に、同径のポリシャ2を貼り付けたものである。ポリシャ2表面には、研磨液が回りやすくするための溝5を形成する。このように、ツール4と小径のポリシャ2との間に弾性部材1を設けたため、各ポリシャ2面は加工面の形状に従って個々に変形ないし傾斜可能となり、ツール4表面の多数の小径弾性ポリシャ3は加工面に良好に圧接され、加工面のうねりを効率よく研磨除去できる。

請求項（抜粋）：

被加工物の加工面上を滑動させながら加工を行う研磨工具において、前記加工面の除去したいうねり周期の2倍以上の径を有するポリシャを、前記研磨工具のツ-ルに3個以上設けると共に、前記各ポリシャを独立に傾斜可能に設けたことを特徴とする研磨工具。

IPC (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 29/00 ,  B24D 7/06

FI (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 29/00 N ,  B24D 7/06