固体撮像装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263569
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120461
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】半導体基板上に多層膜を形成した固体撮像装置において、各層間での入射光の反射をなくし、感度劣化,画像劣化等を防止する。【構成】半導体基板1の受光部2の上に、平坦化層4,カラーフィルター層5及び中間層6等の多層膜からなるフィルター膜を設けた場合、フィルター膜全体を同一の屈折率を有する材料で形成する。また、半導体基板1の受光部2の上に、平坦化層4,カラーフィルター層5及び中間層6等からなる中間膜を介してマクロレンズ層7を設けた場合、マイクロレンズ層7と中間膜とを同じ屈折率を有する材料で形成する。この構成により、入射光がそれぞれの層界面にて反射することなく受光部2に到達するため、固体撮像装置の感度劣化や、再反射光の他の受光部への入射による画像劣化、及び各層のパターンの不均一に起因する感度のバラツキを有効に防止することができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、該半導体基板上に形成された受光部と、該受光部上に形成された多層膜からなるフィルター膜とを有する固体撮像装置において、上記フィルター膜は、屈折率が同一の材料で形成されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H04N 5/335 , H04N 9/07

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-037165
特開昭63-015204
特開平4-093801

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