特許

J-GLOBAL ID：200903025538734258

走査型プローブ顕微鏡装置

発明者： 戸田 明敏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333054
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180227
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】摩擦力の影響を軽減し、圧電体の上下方向のヒステリシスの問題を除去することで、より実際の表面形状に近い形を高精細度に表示すること。【構成】カンチレバー変位測定センサ1からの信号に基づいて、圧電体チューブスキャナ4は駆動する。XY走査用の基信号はコンピュータ14よりチューブスキャナXYZ駆動回路10へ入力され、圧電体チューブスキャナ4をXY方向に走査する。測定点に達すると、Z方向モジュレーション制御回路12は、モジュレーション信号に応じて試料を上下させるようにZ方向モジュレーション駆動回路11により圧電体チューブスキャナ4を駆動する。そして、その駆動位置でのカンチレバーのZ方向の位置をカンチレバー変位測定センサ1により測定し、該信号はコンピュータ14へと送られ処理される。この動作を繰り返して、データの取り込みを行いモニタ15上にAFM像を表示する。

請求項（抜粋）：

カンチレバー先端の探針部と測定試料表面を近接もしくはほぼ接触状態におき、両者を相対的にXY方向に走査しつつ、両者間に働く相互作用力に応じて変位するカンチレバーの変位信号、或いはその変位もしくは探針の試料への接触圧を一定に保つようにするためのZ方向サーボ制御信号を画像処理装置に取り込み、走査部位各位置における該変位量をマッピングする走査型プローブ顕微鏡装置において、あらかじめ設定された測定試料表面上の所定位置において、XY走査方向に対して垂直方向であるZ方向にも上記探針部と試料との相対的位置関係を振動変化させるZ方向振動制御手段と、上記走査部位各位置におけるフォースカーブ信号に基づいて、各位置における探針部と試料間に働く相互作用力が一定の状態になったときの上記Z方向サーボ制御信号を上記カンチレバー先端の探針部の変位情報としてモニタするモニタ手段と、を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28