特許
J-GLOBAL ID：200903025541417484
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043899
出願日： 1993年07月28日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 高感度で高残膜率であり、かつ液晶表示素子や液晶表示装置の作製に用いる表層が酸化膜または金属膜であるガラス基板をエッチングするときの基板に対する高い接着性および剥離時のアルカリ剥離液への溶解性に優れたポジ型レジストを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【構成】 (a)m-クレゾール、p-クレゾールおよび、例えばキシレノールの如きフェノール類を使用割合m-クレゾール/p-クレゾール/例えばキシレノールの如きフェノール類=40〜95/0〜60/0〜50(モル比)でアルデヒド類と重縮合して得られたアルカリ可溶性ノボラック樹脂100重量部に対し、(b)1,2-キノンジアジド化合物10〜50重量部 および(c)例えば2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランの如きシラン化合物2.5〜20重量部を含有させる感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(a)m-クレゾール、またはm-クレゾール、p-クレゾールおよび下記式(1)【化1】で表わされるフェノール類の混合物とアルデヒド類との重縮合により得られたアルカリ可溶性ノボラック樹脂、但し、m-クレゾール、p-クレゾールおよび上記式(1)のフェノール類の使用割合は、これらの合計を100モルとしたとき、m-クレゾール/p-クレゾール/上記式(1)のフェノール類のモル比が40〜95/0〜60/0〜50を満足するものとする、100重量部に対し、(b)1,2-キノンジアジド化合物10〜50重量部 および(c)下記式(2)【化2】で表わされる化合物2.5〜20重量部を含有させることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, G03F 7/075 501
, H01L 21/027
