ガスレーザ発振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-248287
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087825
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ビーム発散角を一定又は調整可能にする。【解決手段】レーザ光L11のビーム発散角Dをビーム発散角測定器17により測定し、このビーム発散角Dに応じて第1の反射鏡14のレーザ光L10中に対する挿入位置を処理ユニット20及び駆動装置21によって制御し、レーザ光L10のビーム断面の大きさを可変し、例えばエキシマレーザの場合、ビーム断面を大きくし横モード数を増加してビーム発散角Dを大きく制御し、ビーム断面を小さくし横モード数を減少してビーム発散角Dを小さく制御し、最終的に出力されるレーザ光L12のビーム発散角Dを一定、若しくは所望のビーム発散角に制御する。

請求項（抜粋）：

気密容器内に封入されたガスレーザ媒質を励起し、この励起により発生したレーザ光を光共振器により増幅出力するガスレーザ発振装置において、前記増幅出力されたレーザ光のビーム発散角を測定するビーム発散角測定手段と、前記光共振器内の前記レーザ光のビーム断面の大きさを可変するビーム断面可変手段と、前記ビーム発散角測定手段により測定されたビーム発散角に応じて前記ビーム断面可変手段を動作させるビーム発散角制御手段と、を具備したことを特徴とするガスレーザ発振装置。

IPC (3件)：

H01S 3/10 , H01S 3/03 , H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/10 Z , H01S 3/03 Z , H01S 3/223 E

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