特許

J-GLOBAL ID：200903025564338778

除振台のフイードフオワード制御方法

発明者： 大坂 隆英 ,  安田 正志 ,  池田 雅夫
出願人/特許権者： 特許機器株式会社 ,  池田 雅夫
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192506
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011856
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、フィードバック制御では対処できない直動外乱に対して非常に有効なフィードフォワード制御を提供するにある。【構成】 機器(K)を載置するための除振台本体(2)と、除振台本体(2)を支持するための能動アクチュエータ(A)〜(D)と、除振台本体(2)の振動を検出するためのセンサ(S)とで構成された除振台において、除振台の能動アクチュエータ(A)〜(D)に既知の信号を与え、この時の除振台の応答を前記センサ(S)で検出してその出力データ(Y)を演算装置(cont)に取り込み、演算装置(cont)にてその入出力関係(G)の逆を与えるシステム(G-1)を演算し、この逆システム(G-1)に除振台本体(2)上に載置された機器(K)を作動させて求めた出力データ(Y)を掛け、更に反転したフィードフォワード制御信号(U)を生成させ、このフィードフォワード制御信号(U)を記憶しておき、次の機器(K)の作動時に同期させて逆システム(G-1)に基づくフィードフォワード制御信号(U)を能動アクチュエータ(A)〜(D)に入力し、機器(K)の作動に起因する振動をキャンセルする。

請求項（抜粋）：

機器を載置するための除振台本体と、除振台本体を支持するための能動アクチュエータと、除振台本体の振動を検出するためのセンサとで構成された除振台において、除振台の能動アクチュエータに既知の信号を入力し、この時の除振台の振動応答を前記センサで検出してその出力データを演算装置に取り込み、演算装置にてその入出力関係の逆を与えるシステムを演算し、この逆システムに除振台本体上に載置された機器を作動させて求めた出力データを掛け、更に反転したフィードフォワード制御信号を生成させ、このフィードフォワード制御信号を記憶しておき、次の機器の作動時に同期させて逆システムに基づくフィードフォワード制御信号を能動アクチュエータに入力し、機器の作動に起因する振動をキャンセルする事を特徴とする除振台のフィードフォワード制御方法。

IPC (3件)：

G05D 19/02 ,  F16F 15/02 ,  G05D 3/12 305

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-021044
  
• 特開平3-075906
  
• 特公昭57-027483