特許
J-GLOBAL ID：200903025564594758
マスクROMの露光データ作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295697
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147334
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 マージン幅処理や補助パターン処理等の処理を施した露光データを短時間で得ることができるマスクROMの露光データ作成方法を提供する。【構成】 書込まれるROMデータに応じて変化するセルパターンを有するROM部と前記ROMデータに依存しない固定したバルクパターンを有するバルク部とを有するデータ書込みマスクの露光データを作成するマスクROMの露光データ作成方法において、セルパターンを形成するためのセルデータを、パターン間の狭い隙間を埋めるマージン幅処理を行う所定方向に従って並べ換え、並べ換えられたセルデータの順番にしたがってセルパターンを生成する際に、直前のセルデータに基づいて生成されたセルパターンとの間の距離がマージン幅以下であるか否かに基づいてマージン幅処理を行う。
請求項（抜粋）：
書込まれるROMデータに応じて変化するセルパターンを有するROM部と前記ROMデータに依存しない固定したバルクパターンを有するバルク部とを有するデータ書込みマスクの露光データを作成するマスクROMの露光データ作成方法において、前記セルパターンを形成するためのセルデータを、パターン間の狭い隙間を埋めるマージン幅処理を行う所定方向に従って並べ換え、並べ換えられた前記セルデータの順番にしたがってセルパターンを生成する際に、直前のセルデータに基づいて生成されたセルパターンとの間の距離がマージン幅以下であるか否かに基づいて前記マージン幅処理を行うことを特徴とするマスクROMの露光データ作成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/8246
, H01L 27/112
