特許

J-GLOBAL ID：200903025567142947

露光装置

発明者： 清水 玲子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203429
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053111
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 ウェハを非露光位置に待避させることなくシャッターのリセットを行う。【構成】 シャッター3で光路を閉鎖した際に積算露光量計で光量が検出された際に、補助シャッター11で光路を閉鎖してシャッター3をリセットする。また、露光中に積算露光量計14で検出される露光量が所定の値と異なる場合、若しくは、ウェハ9が露光位置に存在する場合にシャッターをリセットする際に、補助シャッター11で光路を閉鎖してシャッター3をリセットする。【効果】 ウェハを非露光位置に待避させることなく、シャッター3のリセットを行うことができ、ウェハを再度位置決めする必要がなくなる。

請求項（抜粋）：

光源からの光束の光路中に該光路の閉鎖及び開放を選択する遮光部材を備え、前記光束を所定位置に配置された対象物に選択的に照射する露光装置において、前記光源と前記対象物との間の前記光路中の位置に設けられ、前記光路の閉鎖及び開放を選択する第2遮光部材と;前記遮光部材の前記光束に対する基準位置を記憶しておく記憶手段と;前記遮光部材の前記光束に対する位置を検出する位置検出手段と;前記遮光部材と前記対象物との間の光路中に配置され、前記光束の少なくとも一部を検出する光束検出手段と;前記位置検出手段によって検出された前記位置に基づいて前記遮光部材を前記基準位置に設定した際に前記光束検出手段によって検出される情報に基づいて、前記位置検出手段の異常を判定する判定手段と;前記判定手段による判定結果に基づいて前記第2遮光部材を駆動し、前記光路を閉鎖する制御手段とを備え、前記第2遮光部材による前記光路の閉鎖中に前記位置検出手段によって検出される前記位置を前記基準位置に設定しなおすことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00