特許

J-GLOBAL ID：200903025572895074

面形状測定装置

発明者： 金子 正
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-181719
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001970
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 計算機ホログラムを用いて非球面の多い非球面形状を高精度に測定することができる面形状測定装置を得ること。【構成】 物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホログラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置すること。

請求項（抜粋）：

物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホログラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置することを特徴とする面形状測定装置。