特許
J-GLOBAL ID：200903025578168590
三次元計測方法および表示方法、ならびに三次元計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-264119
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105615
出願日： 1995年10月12日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 試料の表面形状を正確に計測することができる三次元計測方法および装置を提供する。【解決手段】 試料が高さ方向に移動しながら、高さ方向において互いに異なる複数の高さ位置で共焦点画像Fj(ただし、j=1,2,...,n)がそれぞれ撮像される。これらの共焦点画像Fjに基づき、画素(x,y)ごとに高さ方向において光量が極大となるピーク高さ位置P(x,y,L)が求められ、さらに画素(x,y)ごとに、ピーク高さ位置P(x,y,L)のうち最も高い位置P(x,y,0)が当該画素(x,y)に対応する試料の表面情報として選択される。
請求項（抜粋）：
試料の高さ方向において互いに異なる複数の高さ位置で複数の画素よりなる水平面の共焦点画像をそれぞれ撮像し、これら複数の共焦点画像に基づき前記試料の表面情報を求める三次元計測方法において、前記複数の共焦点画像に基づき、各画素ごとに前記高さ方向において光量が極大となるピーク高さ位置を求める工程と、各画素ごとに、前記ピーク高さ位置のうち最も高い位置を当該画素に対応する試料の表面情報として選択する工程と、を備えたことを特徴とする三次元計測方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/02
, G02B 21/00
, G06T 7/00
G01B 11/24 C
, G01B 11/02 H
, G02B 21/00
, G06F 15/62 415
