特許
J-GLOBAL ID：200903025588273162
ウェーハ搬送プレート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177919
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037961
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハを脱落することなく確実に搬送し、真空吸着解除後、吸着プレートからウェーハを速やかに離脱し、スループットを向上すると共に裏面からのパーティクル発生を無くす。【構成】 真空吸着孔部を除く吸着プレートの表面を荒表面仕上げとする。
請求項（抜粋）：
ウェーハとの接触部の一部の表面を荒表面仕上げすることを特徴とするウェーハ搬送プレート。
IPC (2件)：
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