特許

J-GLOBAL ID：200903025588586187

光ビーム偏向素子

発明者： 上西 克二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243531
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095028
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、マウントのために要する空間の大きさを増大することなく、高精度に偏向方向を制御することのできる光学素子を提供することを目的とする。【構成】 本発明では、滑らかな平板からなる第1の面21と、この第1の面と相対向して形成され、多数の独立した2次元アレ-状の微小平面22sに分割され,各微小平面が第1の面に対してそれぞれ独立した傾きを有するように構成された第2の面22とを具備した透光性部材23からなり、第1の面または第2の面側から入射する光ビームの進行方向を各微小平面毎に独立に制御できるようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

滑らかな平板からなる第1の面と、前記第1の面と相対向して形成され、多数の独立した2次元アレイ状の微小平面に分割され,各微小平面が前記第1の面に対してそれぞれ独立した傾きを有するように構成された第2の面とを具備した透光性部材からなり、前記第1の面または第2の面側から入射する光ビームの進行方向を各微小平面毎に独立に制御できるようにしたことを特徴とする光ビーム偏向素子。