特許

J-GLOBAL ID：200903025597562681

密着型イメージセンサ

発明者： 鬼沢 賢一 ,  北 芳明 ,  金子 寿輝 ,  阿部 良夫 ,  橋本 健一 ,  小園 裕三 ,  安藤 寿 ,  橋本 悟
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-151999
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082768
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は、製造工程の簡略化が可能であり、また、低温の熱処理が可能な層間絶縁膜を有する密着型イメージセンサを提供することを目的とする。【構成】絶縁膜のうち少なくとも1層は感光性有機樹脂を加熱および/または加熱して架橋した膜であることを特徴とする密着型イメージセンサ。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた、光検出を行なう1以上の受光素子と、その出力信号を処理する電子素子要素と、これらの光入射面側を覆う1層または2層以上の絶縁膜と、前記絶縁膜上に電極および配線とを有する密着型イメージセンサにおいて、前記絶縁膜のうち少なくとも1層は、感光性有機物樹脂を感光および/または加熱して架橋した膜であることを特徴とする密着型イメージセンサ。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ,  H01L 29/784

FI (2件)：

H01L 27/14 C ,  H01L 29/78 311 C