クライオポンプの再生方法及び再生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212110
公開番号（公開出願番号）：特開平6-033872
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】[目的] クライオポンプの再生時間を短縮する。[構成] クライオポンプ1のポンプ容器2の底部と第1段クライオパネル4の底部を貫通して、窒素ガスを導入するガス導入管11aの一端が配設されている。このガス導入管11aの他端側にはガス導入バルブ13が接続され、これの開閉により、ポンプ容器2内に窒素ガスが導入される。また、ポンプ容器2の底部にはポンプ容器2内に導入されたガスを導出するガス導出管12aの一端がこれを貫通して配設されている。このガス導出管12aの排出側端部には、ガス導出バルブ14が接続され、更にこのガス導出バルブ14の排出側には、配管12bを介在させて、水分検出器10が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

ポンプ容器内に冷凍機によって冷却される冷却部を有するクライオポンプの再生方法において、前記ポンプ容器内に加熱した不活性ガスを導入する工程と、前記ポンプ容器内の圧力が前記不活性ガスにより大気圧に達すると、なお該加熱した不活性ガスを導入しながら前記ポンプ容器から外部に導出する工程と、前記ポンプ容器内に前記加熱した不活性ガスを導入開始した時の水分を検出する工程と、前記不活性ガス導出後の前記ポンプ容器内の水分の変化を検出する工程と、該水分が前記不活性ガス導入開始時の水分になったことを検知する工程とから成ることを特徴とするクライオポンプの再生方法。

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