特許

J-GLOBAL ID：200903025604346906

カンチレバー及びその製造方法

発明者： 鈴木 美彦 ,  原 信也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-267725
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094863
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 温度分布や熱伝導率分布の計測の精度及び分解能を高める。探針及び支持体を可撓性プレートに対して反対方向に突出させ、共振周波数を高めて高速走査を可能とする。【解決手段】 カンチレバーは、可撓性プレート41と、該可撓性プレート41の先端側領域の下面に突設された探針42と、可撓性プレート41の基端側領域の上面に接合された絶縁材料からなる支持体43とを備える。探針42に、金属膜44,45の接合からなる熱電対が設けられる。金属膜44は、熱電対の部分から連続して可撓性プレート41の支持体43側の面に形成される。金属膜45は、熱電対の部分から連続して可撓性プレート41の探針41側の面に形成される。

請求項（抜粋）：

絶縁材料からなる可撓性プレートと、該可撓性プレートの先端側領域の一方側の面に突設された探針と、前記可撓性プレートの基端側領域の他方側の面に接合された支持体と、を備え、前記探針に、第1の金属材料と第2の金属材料との接合からなる熱電対が設けられ、前記第1の金属材料が前記熱電対の部分から連続して前記可撓性プレートの前記支持体側の面に形成され、前記可撓性プレートの前記支持体側の面には、前記第1の金属材料と電気的に接続されるとともに前記基端側領域に延在する第1の配線用導電膜が形成されたことを特徴とするカンチレバー。