特許
J-GLOBAL ID：200903025608967891
ショットブラスト加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269753
公開番号（公開出願番号）：特開平11-104963
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 ワーク面に対して一様にしか微粒子の噴射を行うことしか出来ないショットブラスト加工を用いて、一度に任意に深さの異なる溝を形成する方法を実現するショットブラスト加工方法を提供する。【解決手段】 ブラスト装置によって微粒子を高速でワーク1に噴射することにより、乾式加工を行うショットブラスト加工方法において、まず、研削可能な素材の感光性ドライフィルム2に露光を施して複数積層し、所望のパターンを有するレジストマスク14を形成してワーク1に重ねる。ブラスト装置は前記レジストマスク14を重ねた側より、ワーク1に対して微粒子を噴射し、レジストマスク14ごとワーク1を研削する。レジストマスク14の経時変化によりワーク1に対する被覆領域が変化し、レジストマスク14のパターンがワーク1に転写される。
請求項（抜粋）：
ブラスト装置によって微粒子を高速でワークに噴射することにより、乾式溝加工を行うショットブラスト加工方法において、前記乾式溝加工を行うに当たって、前記微粒子により研削可能であり、所望のパターンが形成されたレジストマスクをワーク上に重ねる第1の工程と、前記ワークに対して、前記レジストマスクが重ねられた側より微粒子を噴射させて、前記レジストマスクごとワークに研削加工を行う第2の工程と、を有することを特徴とするショットブラスト加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24C 1/04 C
, B41J 3/04 103 N
