特許

J-GLOBAL ID：200903025609483669

セラミックス製静電チャック

発明者： 久保田 芳宏 ,  川合 信 ,  小嶋 伸次 ,  新井 健一
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-193020
公開番号（公開出願番号）：特開平6-008089
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は高い静電吸着性を有し、脱着も容易であり、半導体プロセスに使用したときにデバイスダメージを与えることがないセラミックス製静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のセラミックス製静電チャックは、絶縁体で被覆された電極に電圧を印加して、この絶縁体上に試料を静電吸着するようにした静電チャックにおいて、この絶縁体が体積固有抵抗1×1014Ωcm以上の高抵抗セラミックス粉末と、その5重量%以下の窒化チタン粉末との混合物の焼結体、またはプラズマによる溶射で作成した混合物で、その体積固有抵抗が1×108 〜1×1013Ωcmのものであることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

絶縁体で被覆された電極に電圧を印加してこの絶縁体上に試料を静電吸着するようにした静電チャックにおいて、この絶縁体が体積固有抵抗1×1014Ωcm以上の高抵抗セラミックス粉末と、その5重量%以下の窒化チタン粉末との混合物の焼結体、またはプラズマによる溶射で作成した混合物で、その体積固有抵抗が1×108 〜1×1013Ωcmのものであることを特徴とするセラミックス製静電チャック。

IPC (3件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00