特許

J-GLOBAL ID：200903025613953912

露光装置

発明者： 滝沢 毅
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249462
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 2通りのガラス基板の位置決めを可能にし、自動にてプレート回転機構が回転し、効率よくパネルを生産できるようにする。【解決手段】 被露光体である基板9を位置合わせした後露光できる露光用ステージを構成するバーミラー取付け板3と、基板9を固定できる保持版としてのプレートチャック5とを備え、かつ該プレートチャック5を少なくとも90度以上回転させることができる回転機構6をバーミラー取付け板3上に持つプレートステージが搭載されており、露光したいパネルレイアウトを定義するジョブ指令に連動して、該ジョブ指令を入力することにより、回転機構6が自動にて最適な方向にプレートチャック5を回転させることが可能である。

請求項（抜粋）：

被露光体である基板を位置合わせした後露光できる露光用ステージと、前記基板を固定できるチャックとを備え、かつ該チャックを少なくとも90度以上回転させることができる回転機構を前記露光用ステージ上に持つプレートステージを搭載していることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (15件)：

2H097BA00 ,  2H097KA03 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031PA16 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC06 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13 ,  5F046DA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-303410   出願人：株式会社ニコン