特許
J-GLOBAL ID：200903025615782520
連続的動作の超臨界流体処理方法およびシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-047359
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、超臨界流体を使用して洗浄等の処理をバッチではなく連続的に行うことのできる処理システムを得ることを目的とする。【構成】 超臨界流体処理領域を含む主処理容器12と、入口気密遮断部30と、出口気密遮断部38と、主処理容器12の入口、出口を選択的に開閉する主処理容器シール手段46,48と、入口気密遮断部の入口、出口を選択的に開閉する入口気密遮断部シール手段50,46と、出口気密遮断部の入口、出口を選択的に開閉する出口気密遮断部シール手段48,52と、超臨界流体によって主処理容器、入口気密遮断部、出口気密遮断部を加圧する手段54,62,66と、超臨界流体処理領域を減圧することなく対象物を入口気密遮断部と主処理容器と出口気密遮断部とを通って伝送させるため主処理容器、入口気密遮断部、出口気密遮断部の各シール手段と入口と出口気密遮断部の加圧手段の動作の制御手段とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
超臨界流体を使用して対象物を連続的処理用のシステムにおいて、超臨界流体処理領域を規定する壁と、前記対象物が前記超臨界流体処理領域に導入される入口と、前記対象物が前記超臨界流体処理領域から除去される出口とを有する主処理容器と、入口気密遮断部領域を限定する壁と、前記対象物が前記入口気密遮断部領域に導入される入口と、前記対象物が前記入口気密遮断部領域から前記超臨界流体処理領域へ通過される前記主処理容器の入口に接続されている出口とを有する入口気密遮断部と、出口気密遮断部領域を限定する壁と、対象物が前記超臨界流体処理領域から前記出口気密遮断部に通過される前記主処理容器出口に接続する入口と、前記対象物が前記出口気密遮断部から除去される出口とを有する出口気密遮断部と、前記主処理容器の前記入口または出口を選択的に密封するため開いた位置と閉じた位置との間で動作可能な主処理容器シール手段と、前記入口気密遮断部の前記入口または出口を選択的に密封するため開いた位置と閉じた位置との間で動作可能な入口気密遮断部シール手段と、前記出口気密遮断部の前記入口または出口を選択的に密封するため開いた位置と閉じた位置との間で動作可能な出口気密遮断部シール手段と、超臨界流体によって前記超臨界流体処理領域を連続的に加圧するための主処理容器加圧手段と、前記入口気密遮断部の前記入口と出口が密封されたとき超臨界流体によって前記入口気密遮断部領域を選択的に加圧するための入口気密遮断部加圧手段と、前記出口気密遮断部の前記入口と出口が密封されるとき超臨界流体によって前記入口気密遮断部領域を選択的に加圧するための出口気密遮断部加圧手段と、前記入口気密遮断部領域と前記主処理容器と前記出口気密遮断部領域を通って前記対象物を移送する伝送手段と、前記超臨界流体処理領域を減圧することなく前記対象物を前記入口気密遮断部と主処理容器と出口気密遮断部とを通って伝送させるため前記主処理容器のシール手段と前記入口気密遮断部シール手段と前記出口気密遮断部シール手段と前記入口気密遮断部加圧手段と前記出口気密遮断部加圧手段の動作を制御する手段とを有することを特徴とする超臨界流体を使用する連続的処理システム。
IPC (2件)：
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