特許

J-GLOBAL ID：200903025617318081

加速度センサ

発明者： 鈴木 秀夫
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212304
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075781
出願日： 1994年09月06日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 小型でしかも最大許容加速度を大きくとることのできる加速度センサを提供すること。【構成】 加速度に応じて変位するように構成された可動部16に形成される可動電極部と、この可動電極部と所定の間隙Lを介して対向するように形成される固定電極部をそれぞれ、前記可動電極部の変位方向に沿って分割して複数の可動電極1と複数の固定電極2とから成るようにした。

請求項（抜粋）：

加速度に応じて変位するように構成された可動部に形成された可動電極部と、この可動電極部と所定の間隙を介して対向するように形成された固定電極部とを有し、前記可動電極部と前記固定電極部との間に形成される容量素子の静電容量の変化により加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、前記可動電極部と前記固定電極部をそれぞれ、前記可動電極部の変位方向に沿って複数に分割して形成したことを特徴とする静電容量式加速度センサ。