特許
J-GLOBAL ID:200903025617549660
感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-187452
公開番号(公開出願番号):特開2006-011005
出願日: 2004年06月25日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】増感剤を併用しなくとも、エネルギー線、特に300から450nmの波長領域の光に高い感度を有し、酸を触媒とする重合反応、架橋反応、分解反応などを利用した各種用途に効果的に使用しうる、感エネルギー線酸発生剤を提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表される感エネルギー線酸発生剤。 一般式(1)(ただし、R01〜R05、R11およびR12は、それぞれ独立に、水素原などを表す。R21およびR22は、それぞれ独立に、アルキル基などを表す。X-は任意のアニオンを表す。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表記される感エネルギー線酸発生剤。
一般式(1)
IPC (4件):
G03F 7/004
, C09K 3/00
, G03F 7/038
, H01L 21/027
FI (4件):
G03F7/004 503A
, C09K3/00 K
, G03F7/038 601
, H01L21/30 502R
Fターム (22件):
2H025AA01
, 2H025AB03
, 2H025AB13
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CC17
, 4C062EE16
, 4C062EE22
, 4C062EE28
, 4H048AA03
, 4H048AB81
, 4H048VA10
, 4H048VA75
, 4H048VB10
引用特許:
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