特許
J-GLOBAL ID：200903025622831935
薄膜電場発光素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226886
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096957
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】発光層を硫黄雰囲気中で熱処理する際に第一電極端子部が硫化することがなく多色化された薄膜電場発光素子の製造方法を得る。【構成】 第一絶縁膜3と第二絶縁膜5のうちの少なくとも一つを用いて第一電極2の全部を被覆する工程と、第一電極2の全部を被覆し且つ発光層4を成膜したあとに発光層を硫黄の雰囲気中で熱処理する工程と、発光層を熱処理したあとに前記端子部上の絶縁膜を除去して第一電極の端子部21を露出する工程を備える。
請求項（抜粋）：
露出した端子部を有するストライプの複数個からなる第一電極と、第一絶縁膜と、発光層と、第二絶縁膜と、第二電極を順次絶縁基板上に積層してなる薄膜電場発光素子の製造方法であって、第一絶縁膜と第二絶縁膜のうちの少なくとも一つを用いて第一電極の全部を被覆する工程と、第一電極の全部を被覆し且つ発光層を成膜したあとに発光層を硫黄の雰囲気中で熱処理する工程と、発光層を熱処理したあとに前記端子部上の絶縁膜を除去して第一電極の端子部を露出する工程を備えることを特徴とする薄膜電場発光素子の製造方法。
IPC (2件)：
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