特許

J-GLOBAL ID：200903025624131086

張力展開成膜方法、液晶表示パネル及び張力展開成膜装置

発明者： 牛山 敏寛 ,  若林 秀明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192092
公開番号（公開出願番号）：特開平5-031423
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】 塗着層の膜厚さに対して影響を与える不安定因子をなくし、均一厚さの薄い膜形成を可能とする成膜方法を実現すること。【構成】 ガラス基板21の被塗着面21aをガイドローラ42のローラ面に位置規定した状態で、塗着部51に搬送する。ここで、被塗着面21aの先端側が液供給ローラ52の上方に位置したとき、ガラス基板21を停止させ、塗着液の表面張力によって、先端側全域に予備塗着層を形成する。この後に、被塗着面21aと液供給ローラ52との間に所定の離間距離を保持し、これらの間に着色レジストの液溜まり層を形成した状態まま、ガラス基板21を搬送し、予備塗着層から着色レジストを展開して、塗着層を形成する。

請求項（抜粋）：

被塗着面を下方に向けて略水平方向に搬送される被塗着部材の搬送経路の下方位置に、前記搬送経路の幅方向に向けて塗着液を定量供給する塗着液供給手段を設けておき、前記被塗着面の先端側を前記塗着液供給手段の上方位置まで搬送したときに、その先端側全域に塗着液を接触させて、そこに予備塗着層を形成する予備塗着層形成工程と、前記塗着液供給手段と前記被塗着面との間を所定の離間距離に保持して、そこに塗着液の液溜まり層を形成し、この状態を保持しながら前記被塗着部材を搬送して前記予備塗着層から前記塗着面に塗着層を展開させる塗着液展開工程と、を有することを特徴とする張力展開成膜方法。

IPC (6件)：

B05C 1/02 102 ,  B05C 11/10 ,  B05C 13/02 ,  B05D 1/28 ,  B05D 1/42 ,  G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-137470
  
• 特公昭51-038737
  
• 特開平2-172556