特許
J-GLOBAL ID:200903025630559160

蛍光X線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉本 修司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-264810
公開番号(公開出願番号):特開2000-097884
出願日: 1998年09月18日
公開日(公表日): 2000年04月07日
要約:
【要約】【課題】 波長分散型の蛍光X線分析装置において、波高分析器で選別されるべき波高の上限値および下限値の決定が容易かつ適切にできる装置を提供する。【解決手段】 少なくとも各蛍光X線7のエネルギー、検出器8で発生し得るエスケープピーク、分光器6から発生する蛍光X線7をデータとして記憶する記憶手段15と、その記憶手段15に記憶したデータに基づいて、検出器8で発生したパルスの電圧に対する計数率を示す微分曲線におけるピークを同定する演算手段11と、その演算手段11による微分曲線におけるピークの同定結果を表示する表示手段16とを備える。
請求項(抜粋):
試料が固定される試料台と、試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生した蛍光X線を分光する分光器と、その分光器で分光された蛍光X線が入射され、蛍光X線のエネルギーに応じた電圧のパルスを強度に応じた数だけ発生する検出器と、その検出器で発生したパルスのうち所定の電圧の範囲のものを選別する波高分析器と、その波高分析器で選別されたパルスの計数率を求める計数手段とを備えた蛍光X線分析装置において、少なくとも、各蛍光X線のエネルギーと、前記検出器で発生し得るエスケープピークと、前記分光器から発生する蛍光X線とをデータとして記憶する記憶手段と、その記憶手段に記憶したデータに基づいて、前記検出器で発生したパルスの電圧に対する計数率を示す微分曲線におけるピークを同定する演算手段と、その演算手段による微分曲線におけるピークの同定結果を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
Fターム (17件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA20 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA19 ,  2G001FA21 ,  2G001GA01 ,  2G001GA09 ,  2G001JA05 ,  2G001KA01 ,  2G001LA03 ,  2G001NA07

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