特許

J-GLOBAL ID：200903025634328880

液体原料気化供給装置

発明者： 佐藤 良宣 ,  山田 泰生
出願人/特許権者： 株式会社サヤマ ,  日立金属商事株式会社
代理人 (1件)： 森田 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-074866
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283340
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 定量精度が高く、かつ大量生産用として必要な量の原料ガスを安定供給できる液体原料気化供給装置を提供する。【構成】 容器内に収容した液体原料を加熱気化し、気化した原料ガスをバルブ,マスフローコントローラおよびこれらを接続する配管を介して気相反応装置へ供給する液体原料気化供給装置において、容器,マスフローコントローラ,バルブおよびこれらを接続する配管に夫々温度制御可能な加熱手段を設けると共に、前記容器を軸方向内法長さLと内径Dとの比がL/D≧2.0なる直立中空円筒状に形成し、かつ前記容器内の気相部の内容積をVT (ml)消費ガス量をVU (ml/秒)としたときにVT ≧60VU とする。

請求項（抜粋）：

容器内に収容した液体原料を加熱気化し、気化した原料ガスをバルブ、マスフローコントローラおよびこれらを接続する配管を介して気相反応装置へ供給する液体原料気化供給装置において、容器、マスフローコントローラ、バルブおよびこれらを接続する配管に夫々温度制御可能な加熱手段を設けると共に、前記容器を軸方向内法長さLと内径Dとの比がL/D≧2.0なる直立中空円筒状に形成し、かつ前記容器内の気相部の内容積をVT (ml)、消費ガス量をVU (ml/秒)としたときにVT ≧60VU としたことを特徴とする液体原料気化供給装置。