特許
J-GLOBAL ID：200903025636581230
研磨液及び基体の研磨方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217210
公開番号（公開出願番号）：特開平7-070553
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】アルミニウムを含有するガラス基体等の研磨において、初期の研磨速度を長期にわたり維持できる、新規な研磨液及び研磨方法を提供する。【構成】アルミニウムと錯体を形成する有機酸及び/又はキレート剤を、通常用いられる研磨液中に含有させ、アルミニウム成分をマスキングして、砥粒の分散性を向上させる。
請求項（抜粋）：
アルミニウムを含有する基体の研磨に用いられる研磨液において、アルミニウムと錯体を形成する有機酸及び/又はキレート剤が含有されていることを特徴とする研磨液。
IPC (2件)：
C09K 3/14 550
, B24B 37/00
