特許
J-GLOBAL ID：200903025637357776
含浸型陰極ペレットの製造方法、含浸型陰極ペレット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147958
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340108
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 イオン衝撃にともなう陰極のダメージの原因となる含浸型陰極ペレットのアルゴンの含有を極力減少させ、陰極線管の寿命および信頼性の向上を図る。【解決手段】 タングステン等の高融点の耐熱性金属微粒子を加熱焼成した焼結体にバリウムを主成分とする酸化物を電子放射物質として含浸させた多孔性陰極基体表面に、アルゴンを主成分とするガスを放電ガスとするスパッタ成膜装置により高融点遷移金属の被覆膜を形成した含浸型陰極ペレットの製造方法において、表面被覆膜が含有するガスを放出させる手段と排気させる手段を用いて、含有するアルゴンを、陰極を使用する装置の真空容器内容積の単位体積当たりに換算して、陰極1個当たりの放出ガス圧として3×10-5〔Pa/l〕以下の極微量にする。
請求項（抜粋）：
金属焼結体にバリウムを主成分とする酸化物を含浸させ、前記金属焼結体の表面にスパッタ法により金属被覆膜を形成する含浸型陰極ペレットの製造方法において、前記金属被覆膜を形成した後に、前記含浸型陰極ペレットが含有する不純ガスを放出させることを特徴とする含浸型陰極ペレットの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/04 J
, H01J 1/28 A
