特許
J-GLOBAL ID：200903025640498380
電子加速装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176600
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 逆流する高速電子によるカソードへの衝突をほとんど無くし、カソードの寿命を延ばすとともに、スパッターによる加速空洞の汚染も回避され、逆流電子の利用により電子ビームの利用効率も増加する電子加速装置の提供。【解決手段】 電子発生用カソードより引き出された電子が加速空洞を通過中に、該空洞内に生成される加速電場から得る加速エネルギを利用して加速される電子加速装置において、中空筒型カソードを含む電子線発生部と、前記カソード内周側で膨らみ該カソード軸線方向に遠ざかるに連れ徐々に縮径化される形状の磁場を発生させるビーム軌道制御用磁場発生部とを具え、更に前記電子線発生部とビーム軌道制御用磁場発生部とを加速空洞の加速軸方向両側に配置し、加速空洞内の加速電場全位相において前記電子線発生部より引き出された電子を入射可能に構成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子発生用カソードより引き出された電子が加速空洞を通過中に、該空洞内に生成される加速電場から得る加速エネルギを利用して加速される電子加速装置において、中空筒型カソードを含む電子線発生部と、前記カソード内周側で膨らみ該カソード軸線方向に遠ざかるに連れ徐々に縮径化される形状の磁場を発生させるビーム軌道制御用磁場発生部とを具えたことを特徴とする電子加速装置。
IPC (3件)：
H05H 13/04
, G21K 1/00
, H01J 37/06
H05H 13/04 Z
, G21K 1/00 E
, H01J 37/06 Z
