X線源用フィルタ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155329
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346495
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】真空容器内を大気に開放せずに、しかも容易にフィルタを交換可能なX線源用フィルタ装置を提供する。【構成】レーザプラズマX線源1とともに真空容器内に収容され、レーザプラズマX線源1から放出されるX線4を透過するとともに、X線以外の飛散粒子の透過を阻止するフィルタ11aを有するX線源用フィルタ装置において、フィルタ11a,11b,11cは、一方がX線4の光路中に挿入されると他方がX線光路から退避するようにそれぞれ配置された少なくとも2以上の領域を有する。また、上記光路に挿入されている領域を光路から退避駆動するとともに、光路から退避されている領域11bを光路に挿入駆動する駆動手段12を備える。

請求項（抜粋）：

レーザプラズマX線源とともに真空容器内に収容され、レーザプラズマX線源から放出されるX線を透過するとともに、X線以外の飛散粒子の透過を阻止するフィルタを有するX線源用フィルタ装置において、前記フィルタは、一方が前記X線の光路中に挿入されると他方がX線光路から退避するようにそれぞれ配置された少なくとも2以上の領域を有し、前記X線光路に挿入されている領域をX線光路から退避駆動するとともに、前記X線光路から退避されている領域を前記X線光路に挿入駆動する駆動手段を備えることを特徴とするX線源用フィルタ装置。

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