特許

J-GLOBAL ID：200903025646546433

レーザ加工装置

発明者： 小山内 肇
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318383
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 レーザ加工において、加工レンズ等の集光光学部品に入射するレーザビーム径は重要な要素であるが、このレーザビーム径を被加工物の種類(材質)や厚さ等に応じて可変とすることにより、また、光走査形レーザ加工装置の場合には、加工ヘッドがX-Y方向に移動してもレーザビーム径が変化しないようにすることにより、加工品質及び加工安定性を大幅に向上させる。【構成】 流体圧力により弾性変形可能な材質からなる曲率可変反射鏡10をエアー等の流体圧力により球面鏡化し集光光学部品29に入射するレーザビーム径を高速度で段階的に或いは無段階的に変化させれるように構成する。そして、流体圧力を制御装置34により、被加工物33の種類や厚さ等に応じて段階的に或いは無段階的に制御することにより、常に適正なレーザビーム径により加工を行うことができる。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及び流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  B23K 26/14 ,  G02B 26/00

FI (5件)：

B23K 26/00 M ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/08 B ,  B23K 26/14 Z ,  G02B 26/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-166894
  
• 特開昭60-187492
  
• 特開平1-113192