特許
J-GLOBAL ID：200903025649222264

水晶角速度センサ

発明者：
川島 宏文

川島 宏文 について


出願人/特許権者：
有限会社ピエデック技術研究所

有限会社ピエデック技術研究所 について


代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-141078
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340559
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 小型で、角速度の高い検出感度を有する水晶角速度センサを提供する事にある。【解決手段】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け、当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置している。
請求項（抜粋）：
屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置した事を特徴とする水晶角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18
FI (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A
Fターム (6件)：
2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (6件)
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