走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203757
公開番号（公開出願番号）：特開平6-052820
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】試料の表面形状に影響されることなく、高精度且つ確実に試料表面の測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを提供する。【構成】試料の表面形状を観察する際に用いられる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー9は、支持部11と、この支持部11の端面から延出したカンチレバー部13と、このカンチレバー部13の自由端部13aに設けられ、熱拡散炉によって酸化処理が施されて尖鋭化されたコーン型探針15とを備えている。

請求項（抜粋）：

試料の表面形状を観察する際に用いられる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、基端部と自由端部とを有し、前記基端部が支持部に支持されたカンチレバー部と、このカンチレバー部の自由端部に設けられ、熱酸化による尖鋭化処理が施されたコーン型探針とを備える走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2件)：

H01J 37/28 , G01B 21/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-040311
特開平3-218998
特開平1-262403

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