特許
J-GLOBAL ID：200903025654747987
基板搬送治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350468
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201948
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 基板の上方から外れた位置で保持できるようにして、基板に対する汚染を防止する。【構成】 基板1の裏面の外周縁を支持する基板支持部2の外周に、その全周にわたって一体的に連ねてガイド部3を設けるとともに、そのガイド部3よりも外方に突出してその全周にわたって鍔部4を一体的に設け、基板1の上方から外れた外方における鍔部4を搬送部材や手によって把持することにより基板1を搬送する。
請求項（抜粋）：
基板の裏面の外周縁を支持する基板支持部と、前記基板の外周端面を前記基板支持部上に案内するガイド部と、前記ガイド部よりも前記基板の外方に突出して、基板搬送部材または手によって把持可能な鍔部とを備えたことを特徴とする基板搬送治具。
IPC (2件)：
引用特許：
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