特許
J-GLOBAL ID：200903025667321776
温度制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196834
公開番号（公開出願番号）：特開平8-063236
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 追従性よく急俊で高精度の温度制御装置。【構成】 熱媒体の液体を目的温度の第1の設定温度に維持する第1の蓄液タンク1aと、初期温度との温度差が、初期温度と前記目的温度の温度差よりも相当大きい第2の設定温度に維持する熱媒体の液体を持つ第2の蓄液タンク1bと、前記第1または第2の蓄液タンクから前記液体を供給し目的温度に保持される温度調節ブロック6と、前記液体の温度調節ブロック6へ送液する第1または第2の蓄液タンクからの切り替え弁と、前記切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置4とを持ち、前記第1の蓄液タンク1aの熱容量は温度調節ブロック6の熱容量に比べて大であり、かつ前記弁制御装置4は、前記切り替え弁により、温度調節ブロック6へ、第2の蓄液タンク1bから液体を供給し、目的温度附近まで急速冷却または急速加熱したのち、切り替え弁により、第1の蓄液タンク1aから液体を供給し、目的温度に維持する。
請求項（抜粋）：
初期温度から目的温度まで物体温度を高速で下降または上昇させる機能を備えた温度制御装置において、熱媒体としての液体を目的温度である第1の設定温度に維持せしめてなる第1の蓄液タンクと、熱媒体としての液体を、第2の設定温度に維持せしめてなる第2の蓄液タンクと、前記第1または第2の蓄液タンクから前記液体を供給することにより目的温度に保持せしめられる温度調節ブロックと、前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第1または第2の蓄液タンクの切り替えを行う切り替え弁と、前記切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置とを具備し、前記第1の蓄液タンクの熱容量は前記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成されるとともに、前記第2の設定温度の初期温度に対する温度差は、前記目的温度の初期温度に対する温度差よりも十分に大きく設定されており、かつ前記弁制御装置は、前記切り替え弁を駆動し、まず前記温度調節ブロックに対し、第2の蓄液タンクから液体を供給し、前記物体温度を目的温度の近傍まで急速冷却または急速加熱したのち、再度前記切り替え弁を駆動し、前記第1の蓄液タンクから液体を供給し、前記物体温度を目的温度に維持するように構成されていることを特徴とする温度制御装置。
IPC (3件)：
G05D 23/00
, G05D 23/19
, H01L 21/027
