特許

J-GLOBAL ID：200903025671202544

プラズマを発生する方法および装置

発明者： イーヴォ ラーエイマケルス ,  ブラッドリー オー スティムソン ,  ジョン フォースター
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302771
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199295
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 電磁エネルギを誘導結合することによってプラズマを生成する方法および装置を提供する。【解決手段】 一つの実施例では、第1および第2アンテナコイル(104,106)を、プラズマ閉じ込め領域の周りに配置する。第1および第2アンテナコイルは、プラズマ閉じ込め領域の長手軸方向に沿って比較的間隔(L)を開けられる。電流が、第1および第2アンテナコイルに流れる。位相シフト調節ネットワーク(116)が、第1アンテナの電流の位相と第2アンテナの電流の位相のずれを生成する。位相のずれは、プラズマ中にヘリコン波を発するために必要な位相のずれに相当する。別の実施例では、チャンバシールドが、導電性材料より作られ、シールドがRFアンテナとして機能するようにRF源に結合される。シールドは、シールドを囲むコイルに直列に結合され、結果としてフラックス密度を上げる。

請求項（抜粋）：

半導体製造チャンバ内の磁化されたプラズマに、電磁エネルギを結合することによってヘリコン波を発する装置であって、長手方向に軸を有し、その周りに周を有するプラズマ生成領域を形成するプラズマチャンバと、プラズマ生成領域の周の周りのコイル状の第1アンテナと、プラズマ生成領域の周の周りのコイル状の第2アンテナとを備え、前記第1アンテナコイルと前記第2アンテナコイルは、プラズマ生成領域の長手軸に沿って間隔を開け、電気的に互いに絶縁されており、また、第1アンテナコイルに位相を有する電流を、第2アンテナコイルに位相を有する電流を流す手段と、第1アンテナコイルを流れる電流の位相と第2アンテナコイルを流れる電流の位相のずれを生成する手段であって、その位相のずれは、所望の波長を有するヘリコン波をプラズマ内に発するのに必要な位相のずれに対応する、位相のずれを生成する手段と、プラズマに、軸方向に実質的に一様な磁界を生成する手段とを備える装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (6件)：

H05H 1/46 L ,  H05H 1/46 A ,  C23C 14/34 T ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 A