基体収納装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111122
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288359
出願日： 1995年04月12日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】左程清浄度が高くない例えばクリーンルーム内で、基体を汚染することなく保管・搬送することができる、簡素な構造の基体収納装置を提供する。【構成】基体収納装置は、(イ)基体50を収納した基体バスケット10を覆い得るカバー部材20、(ハ)該カバー部材20が取り付けられ、該カバー部材20を垂直方向に昇降するための昇降装置30、(ニ)該カバー部材20に取り付けられたフィルターユニット24、並びに、(ホ)基体バスケット20を乗せるためのバスケット載置部42を備えた支持台40から成る。昇降装置30を支持するための昇降装置支持部44が支持台40に備えられていることが好ましい。基体バスケット10を覆った状態でカバー部材20を昇降装置30から脱着可能な構造としてもよい。

請求項（抜粋）：

(イ)基体を収納した基体バスケットを覆い得るカバー部材、(ロ)該カバー部材が取り付けられ、該カバー部材を垂直方向に昇降するための昇降装置、(ハ)該カバー部材に取り付けられたフィルターユニット、並びに、(ニ)基体バスケットを乗せるためのバスケット載置部を備えた支持台、から成ることを特徴とする基体収納装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B60P 3/00 , B65D 85/86

FI (4件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 T , B60P 3/00 Z , B65D 85/38 R

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