特許
J-GLOBAL ID：200903025678822777
表面形状観測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097745
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288589
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 走査電子顕微鏡を用いた表面形状観測において、歪みのない表面形状の観測を可能とする。【解決手段】 走査電子顕微鏡を用い、試料表面に二次元的に電子線を照射し、反射電子あるいは二次電子を検出して表面形状を観測するに際し、走査位置による電子線と試料との照射角度の垂直方向からの角度ずれ量を算出し、この角度ずれ量に基づいて反射電子あるいは二次電子の信号量を補正する。この計測結果には、電子線走査位置による形状誤差が含まれていないので、正確な表面形状の情報が得られる。
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡を用い、試料表面に二次元的に電子線を照射し、反射電子あるいは二次電子を検出して表面形状を観測するに際し、走査位置による電子線と試料との照射角度の垂直方向からの角度ずれ量を算出し、この角度ずれ量に基づいて反射電子あるいは二次電子の信号量を補正することを特徴とする表面形状観測方法。
IPC (4件)：
G01N 23/225
, G01B 7/34
, G01N 23/20
, H01J 37/28
G01N 23/225
, G01B 7/34 Z
, G01N 23/20
, H01J 37/28 B
