特許
J-GLOBAL ID：200903025680143526
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311582
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154326
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 多層構成の磁性層を形成する磁気記録媒体の製造方法および装置において、高周波誘導加熱の欠点である熱負けの発生を防止するとともに、蒸着効率をさらに向上させる。【解決手段】 第1の蒸発容器16A内の磁性材料10Aを電子銃30から発せられる電子ビーム31により加熱してベースフイルム3に第1層目の磁性層を蒸着するとともに、第2の蒸発容器16B内の磁性材料10Bを高周波誘導加熱コイル12により加熱してベースフイルム3に第2層目の磁性層を蒸着する。電子ビーム31によりフイルム3に電荷が蓄積し、これによりフイルム3は冷却キャン4A,4Bに密着され、蒸着による熱は冷却キャン4A,4Bに良好に逃がされて、フイルム3の熱負けが防止される。さらに、電子ビームのみで磁性材料を多層構成にするものと比較して蒸着効率を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気中で、長尺の可撓性基板を搬送するとともに、前記基板が搬送される経路の下方に配設された磁性材料からなる蒸発源を加熱して、前記磁性材料を蒸発せしめ、前記蒸発源と前記可撓性基板との間に設けた、前記磁性材料の蒸発によって生じる蒸気流の拡散方向を規制制御する蒸気拡散制御手段中を通過させるとともに、該蒸気流の前記可撓性基板への入射角度を規制する入射角規制手段を設けて前記蒸気流の指向性を制御しつつ、該蒸気流を前記可撓性基板表面に蒸着させて、磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造方法において、前記蒸発源を前記長尺の可撓性基板の搬送方向に沿って少なくとも2個設けるとともに、前記蒸発源のうち前記可撓性基板の搬送方向の最上流側の蒸発源を電子ビーム手段により加熱し、それ以外の蒸発源を高周波誘導加熱手段により加熱することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (3件)：
G11B 5/85
, C23C 14/24
, H01F 41/20
G11B 5/85 A
, C23C 14/24 B
, H01F 41/20
