特許
J-GLOBAL ID：200903025687359877
ウェーハの吸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359144
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183042
出願日： 1991年12月28日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 反りのあるウェーハであっても、手作業に頼ることなくバキュームテーブル上に、ウェーハ全面を均一な吸着力で容易に吸着できるようにする。【構成】 ダイシング装置等のウェーハ処理装置に装着されているバキュームテーブル1上に、特に反りのあるウェーハWを吸引保持するウェーハの吸着方法において、ウェーハを吸引保持しようとする吸引力の外に、気体又は液体の流体の力をウェーハに付加しウェーハの吸着を容易にする。
請求項（抜粋）：
ダイシング装置等のウェーハ処理装置に装着されているバキュームテーブル上に、特に反りのあるウェーハを吸引保持するウェーハの吸着方法において、ウェーハを吸引保持しようとする吸引力の外に、気体又は液体の流体の力をウェーハに付加しウェーハの吸着を容易にすることを特徴とするウェーハの吸着方法。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
