特許

J-GLOBAL ID：200903025691705704

露光装置

発明者： 奥山 隆志
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (5件)： 松浦 孝 ,  小倉 洋樹 ,  野中 剛 ,  虎山 滋郎 ,  坪内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-319545
公開番号（公開出願番号）：特開2008-134370
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：

【課題】回路構成を複雑にすることなく、DMDによって照射される位置を考慮して露光データを作成する装置を提供する。【解決手段】露光装置1は、露光のために使用されるベクタデータである描画データに基づいて作成されるラスタデータである露光データを作成する制御部10を備える。露光のために使用され、露光データに基づいて駆動されるDMDを有する露光部15を備える。DMDによって照射される描画エリア23と、DMDによって照射される位置に関する情報を検出するフォトダイオードを有するPD群を有する位置検出部22とを有する描画部20を備える。制御部10は、位置検出部22によって検出された位置に関する情報を考慮して、露光データを作成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

露光のために使用されるベクタデータである描画データに基づいて作成されるラスタデータである露光データを作成する制御部と、 前記露光のために使用され、前記露光データに基づいて駆動されるDMDを有する露光部と、 前記DMDによって照射される描画エリアと、前記DMDによって照射される位置に関する情報を検出するフォトダイオードを有するPD群を有する位置検出部とを有する描画部とを備え、 前記制御部は、前記位置検出部によって検出された位置に関する情報を考慮して、前記露光データを作成することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

G03F7/20 505 ,  G03F9/00

Fターム (4件)：

2H097AA03 ,  2H097AB07 ,  2H097BB03 ,  2H097CA17