特許

J-GLOBAL ID：200903025692841784

直動機構及び位置決め方法

発明者： 村井 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027746
公開番号（公開出願番号）：特開平10-222228
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】ボールねじナットからテーブルへ伝わる振れを効果的に減衰させることで高精度の機器に用いることができる直動機構を提供すること。【解決手段】ボールねじ13をその回転軸C回りに回転駆動するサーボモータ14と、ボールねじに螺合したボールねじナット15と、ボールねじ13の回転軸C方向に沿って移動自在に設けられたテーブル16と、ボールねじナット15とテーブル16とを結合するカップリング機構40とを備え、カップリング機構40は、テーブル16と回転軸CとのYZ方向における相対位置の変位に基づいてテーブル16の相対位置を補正する変位補正部70を備えている。

請求項（抜粋）：

ベースに取り付けられたボールねじと、このボールねじをその回転軸回りに回転駆動する駆動機構と、前記ボールねじに螺合したボールねじナットと、前記ボールねじの回転軸方向に沿って移動自在に設けられたテーブルと、前記ボールねじナットと前記テーブルとを結合するカップリング機構とを備え、前記カップリング機構は、前記テーブルと前記回転軸との前記回転軸方向に直交する方向における相対位置の変位に基づいて前記テーブルの相対位置を補正する変位補正部を備えていることを特徴とする直動機構。