特許

J-GLOBAL ID：200903025697661512

電子線分光装置および電子顕微鏡

発明者： 和多田 篤行
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160974
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348670
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 長時間の測定を行なう場合で、測定しようとするエネルギーがズレた場合に、それを検知して補正を行うことが可能な電子線分光装置の提供を課題とする。【解決手段】 電子顕微鏡に付加して用いられ、磁界または電界、または磁界と電界を使用して電子線をそのエネルギーにより分離する電子線分離機構と、この電子線分離機構により分離された電子線を受光しその情報を得る電子線受光機構とを具備する電子線分光装置において、電子線分離機構である電子線エネルギーフィルタ1と電子線受光機構の間の電子線の進路上の一部にその検出部が複数に分割された電子線検出器2を配置することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡に付加して用いられ、磁界または電界、または磁界と電界を使用して電子線をそのエネルギーにより分離する電子線分離機構と、この電子線分離機構により分離された電子線を受光しその情報を得る電子線受光機構とを具備する電子線分光装置において、前記電子線分離機構と前記電子線受光機構の間の前記電子線の進路上の一部にその検出部が複数に分割された電子線検出器を配置することを特徴とする電子線分光装置。

IPC (5件)：

H01J 49/44 ,  G21K 1/087 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/244

FI (5件)：

H01J 49/44 ,  G21K 1/087 D ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/244

Fターム (12件)：

5C033AA03 ,  5C033NN03 ,  5C033NP03 ,  5C033NP04 ,  5C033NP06 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03 ,  5C033SS08 ,  5C038KK02 ,  5C038KK10 ,  5C038KK12 ,  5C038KK17