特許
J-GLOBAL ID:200903025698052390
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-087049
公開番号(公開出願番号):特開2001-272779
出願日: 2000年03月23日
公開日(公表日): 2001年10月05日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 感度、解像度、現像性及び機械強度が優れ、プリント配線板の高密度化及びレーザー露光に有効な感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、これを用いたレジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、(C)成分が(C1)アクリジン又は分子内に少なくとも1つのアクリジニル基を有するアクリジン系化合物及び(C2)オニウム塩化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントを、回路形成用基板上に積層し、活性光線を画像状に照射し、未露光部を現像により除去するレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきするプリント配線板の製造法。
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(C)成分が(C1)アクリジン又は分子内に少なくとも1つのアクリジニル基を有するアクリジン系化合物及び(C2)オニウム塩化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物。
IPC (15件):
G03F 7/031
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F291/00
, C08K 5/00
, C08K 5/107
, C08K 5/18
, C08K 5/3437
, C08L101/00
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H05K 3/06
, H05K 3/18
FI (15件):
G03F 7/031
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F291/00
, C08K 5/00
, C08K 5/107
, C08K 5/18
, C08K 5/3437
, C08L101/00
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H05K 3/06 H
, H05K 3/18 D
Fターム (124件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC31
, 2H025BC51
, 2H025CA14
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CA48
, 2H025CB43
, 2H025CB52
, 2H025FA03
, 2H025FA10
, 2H025FA17
, 4J002AA011
, 4J002BC021
, 4J002BC101
, 4J002BG011
, 4J002BG021
, 4J002BG131
, 4J002BH001
, 4J002EE039
, 4J002EH076
, 4J002EN119
, 4J002ET006
, 4J002EU037
, 4J002EV219
, 4J002EV238
, 4J002EY018
, 4J002EY028
, 4J002FD147
, 4J002FD148
, 4J002FD149
, 4J002FD206
, 4J002GP03
, 4J011AA05
, 4J011BA04
, 4J011CA08
, 4J011CC07
, 4J011CC10
, 4J011DA02
, 4J011FA05
, 4J011FB01
, 4J011PA52
, 4J011PA63
, 4J011PA65
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, 4J011PB40
, 4J011QA07
, 4J011QA11
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, 4J011QA23
, 4J011QB16
, 4J011QB24
, 4J011RA03
, 4J011RA12
, 4J011RA19
, 4J011SA74
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, 4J011SA83
, 4J011SA87
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, 4J011UA02
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, 4J026AA16
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, 4J026AA50
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, 4J026AA55
, 4J026AC23
, 4J026BA24
, 4J026BA26
, 4J026BA27
, 4J026BA28
, 4J026BA29
, 4J026BA50
, 4J026DB06
, 4J026DB36
, 4J026FA05
, 4J026GA07
, 4J026GA08
, 5E339AC01
, 5E339AD03
, 5E339BC01
, 5E339BC02
, 5E339BD03
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE16
, 5E339CF15
, 5E339CG04
, 5E339DD02
, 5E339DD03
, 5E339DD04
, 5E343AA02
, 5E343AA15
, 5E343AA17
, 5E343BB24
, 5E343CC63
, 5E343CC65
, 5E343ER12
, 5E343ER16
, 5E343ER18
, 5E343FF07
, 5E343GG08
, 5E343GG11
引用特許:
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