特許

J-GLOBAL ID：200903025699583160

光学装置のビームエキスパンダ光学系

発明者： 守屋 正人
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105266
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292589
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 ビームエキスパンダ光学系内にスペーシャルフィルタを容易に介装できるようにする。【解決手段】 光源1,11からの光ビームを拡大して対象部に入射すると共に、この光路内にスペーシャルフィルタ15を介装して用いるビームエキスパンダを少なくとも2段にし、この2段目以降の1つのビームエキスパンダ内の焦点位置にスペーシャルフィルタ15を介装した構成となっている。

請求項（抜粋）：

光源からの光ビームを拡大して対象部に入射すると共に、この光路内にスペーシャルフィルタを介装して用いるビームエキスパンダを少なくとも2段にし、この2段目以降の1つのビームエキスパンダ内の焦点位置にスペーシャルフィルタを介装したことを特徴とする光学装置のビームエキスパンダ光学系。