特許
J-GLOBAL ID：200903025701511881

透明導電膜とその製造方法

発明者：
口山 崇

口山 崇 について

, 
山本 憲治

山本 憲治 について

, 
市川 満

市川 満 について


出願人/特許権者：
株式会社カネカ

株式会社カネカ について


代理人 (1件)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-310486
公開番号（公開出願番号）：特開2009-135003
出願日： 2007年11月30日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】高い耐環境変動性と高い光線透過率とを同時に達成可能な透明導電膜とその製造方法を提供する。【解決手段】透明導電膜は、透明基板(1)上において1層以上の透明導電層(2)と、その上の複数層の水素含有カーボン層(3、4)とを含み、透明導電層の少なくとも1層は酸化亜鉛を含み、水素含有カーボン層の少なくとも2層はその構造と組成との少なくともいずれかにおいて互いに異なっており、1層以上の透明導電層が堆積された透明基板の光線透過率をT0としかつ複数層の水素含有カーボン層まで堆積された透明基板の光線透過率をT1とした場合に波長550nmの光に関してT1/T0≧1.02の関係が成り立つことを特徴としている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明基板上において1層以上の透明導電層と、その上の複数層の水素含有カーボン層とを含み、 前記透明導電層の少なくとも1層は酸化亜鉛を含み、 前記水素含有カーボン層の少なくとも2層はその構造と組成との少なくともいずれかにおいて互いに異なっており、 前記1層以上の透明導電層が堆積された前記透明基板の光線透過率をT0としかつ前記複数層の水素含有カーボン層まで堆積された前記透明基板の光線透過率をT1とした場合に、波長550nmの光に関してT1/T0≧1.02の関係が成り立つことを特徴とする透明導電膜。
IPC (5件)：
H01B 5/14 ,  H01B 13/00 ,  C23C 16/30 ,  C23C 14/08 ,  H01L 31/04
FI (5件)：
H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B ,  C23C16/30 ,  C23C14/08 C ,  H01L31/04 M
Fターム (32件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC34 ,  4K029GA03 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030BB12 ,  4K030CA06 ,  4K030FA01 ,  4K030HA04 ,  4K030JA01 ,  4K030LA16 ,  4K030LA18 ,  5F051AA05 ,  5F051CA13 ,  5F051CB27 ,  5F051FA02 ,  5F051GA03 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FB04 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BA05 ,  5G323BB03 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (3件)

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