特許
J-GLOBAL ID：200903025702017457
微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217915
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061366
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】位相シフターの欠陥と光透過性の異物を検出できる欠陥検査装置を得ることを目的とする。微分干渉像のコントラストを調整することのできる微分干渉顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】微分干渉顕微鏡の検光子を例えば偏光ビームスプリッタとして、ビームスプリッタの透過光と反射光を検出し、それらの差動出力をもって微分干渉像を得られるようにした。さらに、検光子のアナライザ角を所定の角度に定め、無欠陥の光透過性の物質(位相シフター)を透過する光線にπの整数倍だけ位相変化が起きるように、露光機の露光波長に略々等しい波長もしくは、該基板を透過もしくは反射する際に位相シフターでπの整数倍の位相シフトを被る波長の照明光とした。
請求項（抜粋）：
光透過性の物質もしくは光遮光性の物質により所定のパターンが描画された基板の欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記光透過性物質においてπの整数倍の位相シフトを被る波長もしくは、前記所定のパターンの露光に使用される露光波長とほぼ等しい波長の光であって、直線偏光の光を射出する光源系と;前記光源からの光を第1の偏光状態と第2の偏光状態の2つの直線偏光の光に分離する分離光学系と;前記2つの直線偏光の光を集光し、前記基板上の異なる2点上に2つの光スポットを形成するコンデンサレンズと;前記2つの直線偏光の光の位相差を調整する位相差調整手段と;前記2つの光スポットの中間点と前記基板とを相対移動する走査手段と;前記基板からの前記2つの直線偏光の光を集光する対物レンズと;前記対物レンズで集光された前記2つの直線偏光の光を第3の偏光状態の光に合成する合成光学系と;前記第3の偏光状態の光から第4の偏光状態の光と第5の偏光状態の光を選択する偏光選択手段と;前記第4の偏光状態の光を光電変換し、第1の光電変換信号を出力する第1光検出器と;前記第5の偏光状態の光を光電変換し、第2の光電変換信号を出力する第2光検出器と;前記第1と第2の光電変換信号の差信号に基づいて、前記基板の欠陥を検出する検出系とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G02B 21/00
