特許
J-GLOBAL ID：200903025703033715

基板処理装置およびその方法

発明者：
上河内 寛文

上河内 寛文 について

, 
北本 徹

北本 徹 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-353673
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123249
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 様々な基板処理を柔軟に行うことができる基板処理装置およびその方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板の搬送順序を含んだフローレシピ39,各フローレシピ40において、その搬送順序を決定する情報には基板の処理情報であるパラメータが付随しており、この搬送順序に基づいて処理部に対する基板の受け渡しを行う。パラメータの1つであるスキップ制御フラグにおいて、「ON」に設定した場合にはフラグにおけるその処理部で基板の処理を行い、フラグを「OFF」に設定した場合にはフラグにおけるその処理部で基板の処理を行わない。このように処理およびスキップする処理の双方についてスキップ制御フラグによって操作することができる。また、そのスキップ制御フラグは搬送順序を決定する情報に付随しているので、搬送順序自体、さらにはフローレシピ39,各フローレシピ40全体を変更する必要はなく、スキップ制御フラグの設定に合わせて様々な基板処理を柔軟に行うことができる。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
基板処理を行う複数の処理部と、各々の処理部に対して基板の受け渡しを行う搬送機構と、処理部および搬送機構を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、 搬送機構による基板の搬送順序を設定する搬送順序設定手段と、 基板の処理情報を設定する処理情報設定手段とを備え、 処理情報は、各々の処理部に対して基板の処理を行うか否かを設定する情報であって、 その処理情報が、搬送順序を決定する情報に付随して制御手段に与えられ、 制御手段は、搬送順序を決定する情報と、これに付随する処理情報に基づき、次のように処理部および搬送機構を制御する、 (A)搬送順序を決定する情報に基づいて処理部に対して基板の受け渡しを行うとともに、 (B1 )処理情報が「基板の処理を行う」ことを設定するものである場合には、処理情報に基づいてその処理部で基板の処理を行い、 (B2 )処理情報が「基板の処理を行わない」ことを設定するものである場合には、その処理部で基板の処理を行わずに、次の処理部に対して基板の受け渡しを行う ことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/30 562
Fターム (37件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA40 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07 ,  5F031NA16 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04 ,  5F031PA09 ,  5F046CD01 ,  5F046DA29 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046LA01 ,  5F046LA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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